取扱製品

自動液管理装置

取扱製品

化学研磨液および現像剥離液の有効成分濃度を自動分析、自動補給でき省力化に有効な自動液管理装置

化学研磨液および剥離液の有効成分濃度を自動分析する管理部と供給(補充液)装置とをコンパクトにまとめてあります。化学研磨液および現像剥離液の補充液を自動供給することにより、濃度を維持し均一な仕上がりと液寿命の長期化が図れる装置です。

  • 繰り返し精度に優れます。
  • 目標濃度までの不足量を正確に計算し、補給による増加量も計算にいれております。
  • 簡単なパラメータなため操作も簡単です。