取扱製品詳細
ノベック™HFE（ハイドロフルオロエーテル、フッ素系液体）
環境に配慮した優れたフッ素系液体
オゾン破壊係数がゼロであることは勿論、地球温暖化係数も低く、環境に配慮した製品です。 また、不燃性で安全性が高く、様々なアプリケーションにご使用いただけます。
特にフロン・代替フロン・エタン溶剤の用途であった、洗浄、溶剤、熱媒体などにご使用いただいております。
- オゾン破壊係数ゼロで地球温暖化係数も低い。
- 実用上無毒で許容濃度が高い。
- 引火点がなく、不燃性。
- 表面張力、粘度が低い。
- 各種材料との適合性が良い。
- 電気絶縁性能・熱伝達性能に優れている。
- 熱的・化学的に安定している。
環境・安全性
| 特性 | 7100 | 7200 | 7300 |
|---|---|---|---|
| オゾン破壊係数（ODP） CFC-11=1 | 0 | 0 | 0 |
| 大気寿命 単位：年 | 3.8 | 0.8 | 3.8 |
| 地球温暖化係数（GWP） CO2=1,100年精算 | 297 | 59 | 210 |
| 引火点 | なし（消防法非該当） | ||
| 急性吸入毒性ALC/LC50（4時間） | 実用上無毒（米国環境保護庁ガイドライン準拠） | ||
主な用途
洗浄用途例
- CCD・CMOCセンサ等電子デバイスの除塵
- 半導体製造装置部品、チャンバーの洗浄
- 液晶セル・パネルの洗浄
- 密加工部品の脱脂洗浄
- カメラなどのレンズの水切り・乾燥
- ＊ノベック™HFE仕様の洗浄装置も取扱っております。
溶剤・分散媒用途例
- フッ素オイル用溶剤
- PTFEフッ素樹脂の分散媒
- 可燃性溶剤の引火点調整
- 反応・抽出溶媒
冷却・熱管理ブライン用途例
- ドライエッチング装置、露光装置、プローバー等半導体製造装置の冷却ブライン
- 食品工業、医薬品工業、化学工業用冷却装置
その他の用途例
- 地熱発電・廃熱発電用低沸点液
- 信頼性試験（耐電圧試験・気密試験など）
製品仕様
代表物性値
- 代表物性は25℃におけるものです。（沸点、凝固点、蒸発潜熱を除く）
- 規格値ではありません。
| 特性 | 7100 | 7200 | 7300 |
|---|---|---|---|
| 沸点 ℃ | 61 | 76 | 98 |
| 凝固点 ℃ | -135 | -138 | -38 ※ |
| 蒸気圧 MPa | 0.028 | 0.016 | 0.006 |
| 蒸気潜熱（沸点） kJ/kg | 126 | 126 | 102 |
| 密度 kg/m3 | 1,520 | 1,430 | 1,660 |
| 絶対粘度 Pa・s | 5.8×10-4 | 5.7×10-4 | 1.2×10-3 |
| 動粘度 cSt | 0.38 | 0.40 | 0.70 |
| 比熱 J/kgK | 1,172 | 1,214 | 1,137 |
| 熱伝導度 W/mk | 0.069 | 0.069 | 0.062 |
| 表面張力 mN/m | 13.6 | 13.6 | 15.0 |
| 屈折率 | 1.27 | 1.28 | 1.28 |
| 膨張係数 m3/m3K | 0.00171 | 0.00158 | 0.00144 |
| 絶縁耐力 kV(2.54mmgap) | 28 | 23 | 27 |
| 体積抵抗 Ωm(DC500V) | 2×109 | 5×108 | 3×109 |
| 水の溶解度 ppm(wt.) | 95 | 92 | 67 |
| 水への溶解度 ppm(wt.) | 12 | <20 | 0.6 |
| 誘電率 1kHz | 7.52 | 7.35 | 6.14 |
| 誘電正接 1kHz | <0.267 | <0.273 | 0.016 |
※流動点
化学式
- 7100：C4F9OCH3
- 7200：C4F9OC2H5
- 7100：C6F13OCH3
- 7100：C3HF6-CH(CH3)O-C3HF6
| 特性 | 71IPA ※ |
|---|---|
| 沸点 ℃ | 54.5 |
| 密度 kg/m3 | 1,440 |
| 絶対粘度 Pa・s | 6.8×10-4 |
| 引火点 | なし |
| 表面張力 mN/m | 14.0 |
※71IPAは、共沸様混合物です。